مسارات قدرة RF في معدات العمليات
تستخدم معدات عمليات أشباه الموصلات طاقة RF أو الميكروويف في الحفر بالبلازما، والترسيب، والرش، ومعالجة المواد. قد يشمل قسم RF حول الحجرة مضخمات قدرة، ومصادر قدرة للمضخمات، ومراقبة القدرة المرتدة، ووحدات تحكم في القدرة، وتجميعات حرارية بتبريد هوائي.
بيئة العملية
يتغير الحمل الذي يراه مسار RF مع خليط الغاز، وضغط الحجرة، وحالة المطابقة، وحالة الرقاقة، ونسبة التشغيل. القدرة المسلمة، وسلوك القدرة المرتدة، وحدود الحماية، وإمكانية الوصول إلى التبريد تؤثر في استقرار المعدة أثناء التشغيل الإنتاجي.
بيانات هندسية
تشمل البيانات المفيدة تردد التشغيل، وقدرة الخرج، ونسبة التشغيل، وتحمل عدم المطابقة، وعتبة القدرة المرتدة، وواجهة التحكم، وجهد التغذية، وطريقة التبريد، وسلوك الإنذار، ومساحة الصيانة.
