Proses ekipmanında RF güç yolları
Yarı iletken RF proses ekipmanı plazma aşındırma, kaplama, püskürtme ve malzeme işlemede RF veya mikrodalga enerjisi kullanır. Oda çevresindeki RF bölümü güç amplifikatörleri, amplifikatör güç kaynakları, yansıyan güç izleme, güç kontrol birimleri ve hava soğutmalı ısıl düzenekler içerebilir.
Proses ortamı
RF yolunun gördüğü yük gaz karışımı, oda basıncı, eşleşme durumu, wafer durumu ve görev döngüsüne göre değişir. İletilen güç, yansıyan güç davranışı, koruma sınırları ve soğutmaya erişim üretim çalışmaları sırasında ekipmanın kararlılığını etkiler.
Teknik veriler
Yararlı veriler çalışma frekansı, çıkış gücü, görev döngüsü, uyumsuzluk toleransı, yansıyan güç eşiği, kontrol arayüzü, besleme gerilimi, soğutma yöntemi, alarm davranışı ve bakım erişimini içerir.
