Proses ekipmanında RF enerjisi
Endüstriyel ısıtma ve plazma sistemlerinde RF veya mikrodalga enerjisi bir iletişim bağlantısı değil, proses yolunun parçasıdır. RF bölümü eşleşmiş bir yükü, plazma odasını, ısıtma fikstürünü veya bilimsel bir cihazı sürebilir; iletilen güç, kararlılık ve koruma davranışı proses tekrarını etkiler.
Mühendislik bağlamı
Gerekli proje verileri çalışma frekansı, ileri ve yansıyan güç, görev çevrimi, yük değişimi, soğutma yöntemi, kilitleme mantığı, konnektör arayüzü ve bakım erişimidir. Bu bilgiler güç amplifikatörlerini, RF güç kaynaklarını, termal grupları ve yansıyan güç izlemeyi gerçek proses koşullarına bağlar.
Tek, doğrulanabilir elektriksel ve termal zarf
- Endüstriyel ısıtma ve plazma RF için RF donanımı
- Kapsamı elektriksel ve termal destek işlevlerinde tutun Kapsam; DC kaynağı ve dönüşümü, bias üretimi ve sıralaması, enable kontrolü, koruma, telemetri, termal yol ve bu işlevleri birbirine bağlayan kanıtları içerir....
- Endüstriyel ısıtma ve plazma RF için RF gereksinimleri
- Kapsamı elektriksel ve termal destek işlevlerinde tutun Kapsam; DC kaynağı ve dönüşümü, bias üretimi ve sıralaması, enable kontrolü, koruma, telemetri, termal yol ve bu işlevleri birbirine bağlayan kanıtları içerir....
- Endüstriyel ısıtma ve plazma RF RF mimarisi
- Kapsamı elektriksel ve termal destek işlevlerinde tutun Kapsam; DC kaynağı ve dönüşümü, bias üretimi ve sıralaması, enable kontrolü, koruma, telemetri, termal yol ve bu işlevleri birbirine bağlayan kanıtları içerir....
- Endüstriyel ısıtma ve plazma RF RF donanım seçimi
- Kapsamı elektriksel ve termal destek işlevlerinde tutun Kapsam; DC kaynağı ve dönüşümü, bias üretimi ve sıralaması, enable kontrolü, koruma, telemetri, termal yol ve bu işlevleri birbirine bağlayan kanıtları içerir....
- Endüstriyel ısıtma ve plazma RF RF test ve doğrulama
- Elektriksel, RF ve termal kanıtı kabul testinde birleştirin Onaylı RF durumları boyunca kaynak ve modül gerilimlerini, akımları, bias/enable komutlarını, arıza tepkilerini ve referans sıcaklıklarını ölçün. Besleme RF'yi etkiliyorsa dalga biçimi veya spektrumunu aynı düzlem ve kablolarla güç, kazanç, modülasyon, spur ya da faz gürültüsüyle ilişkilendirin.
Bir RF güç modülü için besleme, bias, koruma ve termal arayüz nasıl belirlenir?
Gerçek RF çalışma durumlarını DC ray, akım geçişi, ripple, bias sıralaması, koruma, ısı yükü, soğutma ve kabul kanıtlarına dönüştüren mühendislik yöntemi.
