Spitzenfeld und mittlere Erwärmung sind getrennte Grenzen. Spitzen- und Mittelleistung, Pulsdauer, Tastgrad, Wiederholrate, Fehlanpassung, Fehlerdauer und gespeiste Ports werden festgelegt. Stufen, Spalte, Kanten, Fenster, Verschmutzung und Flanschfugen können höhere lokale Felder erzeugen als ein gleichförmiger gerader Abschnitt.
Gas, Spülung, Druck, Höhe oder Vakuum, Werkstoff, Beschichtung, Oberflächenzustand, Temperatur und Wärmeabfuhr gehören zur Konfiguration. Corona, Lichtbogen und Multipactor hängen von Geometrie, Feldverteilung, Oberfläche und Druckbereich ab. Allgemeine Diagramme oder Werkzeugausgaben dürfen nicht zu einer bedingungslosen Bauteilnennleistung umgedeutet werden.
Vor der Abnahme werden Strecke und Flansche geprüft und gereinigt, Kleinleistungs-S-Parameter gemessen und Verriegelungen sowie Reflexionsgrenzen gesetzt. Die Leistung wird unter Überwachung von Temperatur, Druck, Vor- und Rücklauf hochgefahren; anschließend werden Schäden geprüft und die HF-Messung wiederholt. Aufbau, Kalibrierung, Unsicherheit und Kriterien bleiben reproduzierbar dokumentiert.